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硅单晶定向切割工序可包括哪些?

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硅单晶定向切割工序可包括哪些?

发布日期:2019-07-25 00:00 来源: 点击:

硅单晶定向切割工序可包括对所述碳化硅晶锭进行加工定位边,所述定位边至少包括主定位边。这样可以利用所得的主定位作为基准来进行后续切割工序中的定位。

在所述切割工序中,以所述晶锭的主定位边和圆周作为基准,将所述多个晶锭粘接在定型支架上,并将粘接有晶锭的定型支架粘接到定型刀架上,然后将所述定型刀架置于多线切割机中,进行切片。以主定位边和圆周作为基准,可以使多个晶锭定型并固定在定型支架上,使各晶锭的端面高度平行,因而能保证各个晶锭的取向一致,切割出的晶片定向偏差小。

在相邻的碳化硅晶锭的端面之间用粘结用胶粘接,使多个碳化硅晶锭以一字排列。

所述定型支架可包括具有台阶结构的上部和倒梯形下部,所述定型刀架可包括具有梯形槽的上部。由于定型支架的梯形下部与定型刀架的上部的梯形槽结合,因此便于定向固定于定型刀架上,在后续切割碳化硅晶锭时确保了切割方向的准确性。 定型支架的台阶结构可以从侧面和底面固定晶锭,从而可以有效防止碳化硅晶锭的上下及左右偏移。

定型刀架的材质可为不锈钢、模具钢或陶瓷材料。

定型支架的材质可为玻璃或者陶瓷材料。

可采用粘结用胶将碳化硅晶锭固定于定型支架上,以及将定型支架上粘接到定型刀架上。

粘结用胶可为市售Q胶。其中,所述粘结用胶还可为在市售Q胶中掺入碳化硅粉形成的混合胶。采用混合了碳化硅的混合胶可提供粘结用胶的强度。一个优选的例子是,所述混合胶中采用的碳化硅粉的粒径为10 500// ,掺入量为0. 5 5g/10mL。

在预处理工序中,对多个碳化硅晶锭的顶部和底部进行截断处理并磨平,以使碳化硅晶锭的顶部和底部分别具有平整的表面。

具体地,在预处理工序中,对磨平后的端面进行定向,并修正端面至所需定向偏差内。

晶锭头尾部的整形处理采用外圆磨床截断,有效缩短了整形时间,且加工时外圆砂轮与晶锭属于线接触式加工,砂轮对晶锭冲击较小,有效避免了晶锭在加工过程中的开裂现象。


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