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几种光学硅单晶定向测量方法

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几种光学硅单晶定向测量方法

发布日期:2019-08-09 00:00 来源: 点击:

  硅单晶定向测量装置的光学系统,光轴和结晶方向间的未知夹角可在屏幕上直接以弧度读出。适当设置一个或多个这样的光学系统,所有关于单晶建的定向问题都可解决。常见定向问题的有关原理将参照下列几种定向装置来论述。

  1.单轴定向测量法

  这种方法可用于测量切片的定向以及检测硅单晶定向。使用这种方法,经腐蚀后的切片定向很快被显示在校准后的屏幕上。这种方法屏幕坐标系的切片转置定向,可通过观察星脚方向来粗略确定,这样,硅片的切面定向就可检测了。一个滑杆沿屏幕轴向置于严片台上,使薄片切面朝该滑杆,借助屏幕土三脚星的转动,该薄片的定向就显示出来。


  2。双轴定向测量法

  这种方法专门用于测量喷砂和腐蚀后的切片定向以及检测硅片定向。操作中,切片置于以方向为铰接轴线的承片台上。垂直屏幕看去,当三脚星同时出现在两光学系统的屏幕内时,操作完成。因为对称轴向。总的定向取错是这两个已知定向取错平方之和的算术根,它们都是微小角度。承片台上设置一个与铰接轴线垂直的滑杆,用它作参考来检测。叶切片上平面平行的切面定向。


  硅单晶定向测量的光学原理已参照各种定向测量方法进行了概述。可以断言,任何硅晶定向测量问题均可用光学方法来解决,且加工精度也较高。其定向侧量装置小巧耐用,操作省时,不须过多维护,寿命长。总之,光学方法是一种简单可靠的硅晶体定向测量方法。


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