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用金相腐蚀法进行激光单晶定向

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用金相腐蚀法进行激光单晶定向

发布日期:2019-08-29 10:45 来源: 点击:

在进行金相腐蚀之前,应先将晶体端面用80#金刚砂在平板玻璃上湿磨,使在端面上解理出无数微小的解理坑,洗净后,按指定的腐蚀工艺条件进行腐蚀。

硅单晶定向实验用的单晶材料,在5%的NaOH水溶液中沸腾煮7分钟.经过金相腐蚀的硅单晶晶面,腐蚀坑底的平面是垂直于上述相应晶轴的晶面,而其边缘上的几个侧面则为另一些具有特定的结晶学指数的晶面族,这些侧面按轴对称的规律围绕着腐蚀坑的底面,从而构成各种具有特殊对称性的腐蚀坑构造.腐蚀坑的直径大约为10μ的数量级,而激光束的直径为1mm,因而同一束激光可以照射到许多腐蚀坑上。每一腐蚀坑在表面上的分布虽然是不规则的,但每个腐蚀坑均具有严格的轴对称性,因而它们每一个相应的侧面都取相同的方向,从而将平行的入射光也反射在相同的方向。

如将一晶体置于激光定向仪的晶体夹具上,调整各个方位,使被测晶轴的方向与入射的激光轴相平行,于是,在光屏上就显示出反映晶轴对称性的特征光图。

用腐蚀法处理获得的特征光图十分清晰,有利于提高定向精度。但晶锭的端面如果与被测晶向偏离太大,一般情况下如超过10。

则腐蚀坑的对称性就被严重破坏了,显示不出对称形的光图。这就限制了采用腐蚀法前处理工艺的定向范围。


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