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硅单晶晶片定向仪

硅单晶晶片定向仪

  • 所属分类:半导体级硅单晶定向设备

  • 点击次数:
  • 发布日期:2015/11/10
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详细介绍

硅单晶晶片定向仪

DX-7A硅单晶晶片定向仪(7AC7AS7AZ)

功能:该仪器主要用于测定切割后的硅单晶晶片表面及参考面的角度,也可用于测定其它种类单晶材料的晶片。仪器配有吸气泵。可测定直径为 3-8 英寸的晶片,测定晶面为 100 110 111 210 等。该仪器为双工作台,可同时完成相同任务,也可分别测定晶片表面和参考面,根据用户需要配置。

技术参数:

项目

参     

输入电源

单相交流220V,50Hz,0.3KW.

最大管电压

30kV

管电流

0-5mA连续可调

接收器

盖革计数器,工作电压最高为DC1050V

X射线管

铜靶,风扇冷却,阳极接地。

测定角度

2θ=-10~120°,θ=-5~60°。

综合精度

±30″(用标准石英片10ī1面测量)

最小读数

1

外形尺寸

1290(长)x772(宽)x1300(高)mm

仪器重量

300kg

 


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