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硅单晶锭粘结仪

硅单晶锭粘结仪

  • 所属分类:半导体级硅单晶定向设备

  • 点击次数:
  • 发布日期:2015/11/10
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详细介绍

硅单晶锭粘结仪

DX-7CF硅单晶锭复检仪

功能:此型仪器专门用于硅单晶锭定向、粘结后复检。待测晶锭在我公司的DX-7C型X射线定向仪定向,在DX-7CZ型粘料仪上粘结后,最终在本仪器上复检,和多线切割机配套使用。

特点:此仪器具有一个工作台,工作台上有托板和料板(工件板)的定位、夹紧装置。晶锭与垫条(石墨/玻璃/树脂)、料板粘结后一起装在上述装置定位夹紧,其端面在x射线照射下进行复检,每个料板只可复检两块晶锭。

技术参数:

项目

参     

输入电源

单相交流220V,50Hz,0.3KW.

最大管电压

30kV

管电流

0-5mA连续可调

接收器

盖革计数器,工作电压最高为DC1050V。

X射线管

铜靶,风扇冷却,阳极接地。

外形尺寸

1290(长)x772(宽)x1300(高)mm

仪器重量

300kg

晶锭直径

5-8英寸

晶锭最大长度

500mm

测定晶面

111向、100向

定向精度

±30"(用标准石英片10ī1面测量)

最小读数

1"

晶锭转角(&)

±10°

料板最大长度

500mm

料板宽度

70mm、100mm


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