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硅单晶锭定向仪

硅单晶锭定向仪

  • 所属分类:半导体级硅单晶定向设备

  • 点击次数:
  • 发布日期:2015/11/10
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详细介绍

硅单晶锭定向仪

DX-7C硅单晶锭定向仪

功能:此型仪器专门用于硅单晶锭的定向,和多线切割机配套使用,工作台上有一对滚杠,晶锭放在滚杠上,其端面在x射线照射下定向。

特点:此仪器晶锭尾端和进口编码器偶合,细分步到0.001°,用于测定晶锭旋转角度。可进行四方位(0°、90°、180°270°)和二方位(0°、90°)测量。该仪器有一套电脑控制装置,包括输入键盘、屏幕和打印机,选择屏幕菜单、键入晶锭编号。所需数据,产品要求的切割偏角等。经计算、显示、打印出晶锭编号,晶锭在料板(工件板)上粘结所必须的自身旋转角及摆角&等值。

技术参数:

项目

参     数

输入电源

单相交流220V,50Hz,0.3KW.

最大管电压

30kV

管电流

0-5mA连续可调

接收器

盖革计数器,工作电压最高为DC1050V。

X射线管

铜靶,风扇冷却,阳极接地。

时间常数

1(快)、2(慢)两档

测定角度

2θ=-10~120°,θ=-5~60°。

外形尺寸

1290(长)x772(宽)x1300(高)mm

仪器重量

300kg

晶锭直径

6-8英寸

晶锭最大长度

500mm

测定晶面

111向、100向

定向精度

±30"(用标准石英片10ī1面测量)

最小读数

1"

晶锭转角()

±90°±0.1°

 


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